序號

名稱

參數(shù)描述

1

防輻射

采用X射線源，有豁免證書

2

掃描架

精密O型架結(jié)構(gòu)保證長期運(yùn)行穩(wěn)定性

3

掃描速度

1.0???18m/min（可調(diào)）

4

采樣頻率

200kHz（200000個測量值/秒）

5

響應(yīng)時間

＜1ms

6

測量范圍

3至105μm

7

測量重復(fù)精度

±2sigma≤真實(shí)值*0.2‰or±0.05g/㎡

8

測量幅寬

1300-1700mm

9

測量分辨率

0.001μm

10

相關(guān)性R2

＞99%